碳化硅烧结炉用途及特点：该类设备适用于碳化硅无压烧结，反应烧结，重结晶烧结工艺。该设备具备抽气量大，高效的排胶/除尘装置，装取料平稳可靠，具备快速冷却能力等特点。加热方式可选电阻加热或感应加热方式。
型号 | 有效加热区(宽*高*长mm） | 最高温度（℃） | 极限真空度（Pa） | 均温性（℃） | 压升率（Pa/h） | 参考装料量（kg） |
VHS223 | 200*200*300 | 1800-2400 | 0.5 | ±5 | ≤0.5 | 80 |
VHS6620 | 600*600*2000 | 1800-2400 | 0.5 | ±5 | ≤0.5 | 600 |
VHS6626 | 600*600*2600 | 1800-2400 | 0.5 | ±5 | ≤0.5 | 800 |
VHS8824 | 800*800*2400 | 1800-2400 | 0.5 | ±5 | ≤0.5 | 1200 |
VHS8830 | 800*800*3000 | 1800-2400 | 0.5 | ±5 | ≤0.5 | 1500 |
VHS7740 | 700*700*4000 | 1800-2400 | 0.5 | ±5 | ≤0.5 | 1200 |
VHS7745 | 700*700*4500 | 1800-2400 | 0.5 | ±5 | ≤0.5 | 1500 |
VHS7750 | 700*700*5000 | 1800-2400 | 0.5 | ±5 | ≤0.5 | 1800 |
VHS7755 | 700*700*5500 | 1800-2400 | 0.5 | ±5 | ≤0.5 | 2100 |