对较难烧结的粉料或生坯在模具内加压加热烧结的方法

热压烧结炉对较难烧结的粉料或生坯在模具内加压加热烧结的方法。加热方式有电阻直接加热，电阻间接加热，感应间接加热，感应直接加热等四种。热压烧结用模具材料主要有石墨，氧化铝和碳化硅等。石墨模具可承受70MPa压力、1500～2500℃的温度。氧化铝模具可承受200MPa压力、约1200℃的温度。加压操作方式有：（1）恒压法，整个升温过程中都施加预定的压力；（2）高温加压法：高温阶段才加压；（3）分段加压法，低温时加低压、高温时加到预定的压力。此外还可分为真空热压烧结、气氛热压烧结、连续加压烧结、超高压烧结和超高温超高压烧结等。采用热压烧结可以制造高强度、高密度、高透明度的陶瓷制品。

碳化硅(SiC)具有半导性和良好的导热性，近年来被应用于边界层陶瓷电容器领域，通过控制边界层的成分和结构，可以成功制备出高介电常数的SiC基边界层陶瓷电容器，其高温段的介电常数远高于传统的钛酸盐类介电材料，具有广阔的应用前景。对SiC陶瓷电容器的前期研究结果发现，其高介电常数出现在高温区；由于边界层结构的影响，其介质损耗非常高。因此，如何降低SiC电容器的介质损耗是今后该领域研究的一个重点。为了解决这些问题，需要选择合适的第二相，降低SiC电容器的介质损耗，改善介电常数的温度稳定性。

真空烧结炉退火：消除降低组织的不均匀性，去除内应力改善其可塑性。

真空烧结炉回火：消除机加工过程中的内应力。

真空淬火：（气淬、油淬）在加热后快速冷却使其材料硬化，

真空渗碳：在真空加热中，在负压渗碳气氛中进行渗碳。

真空离子渗碳：对金属表面进行硬化的一种新的真空化学热处理。

真空化学热处理：真空碳氮共渗，真空渗硼等工艺（正在完善化）。

真空辉光离子氮化：一般为离子氮化在高压直流电场下进行。

真空渗金属：通过高压在真空中渗金属。

真空及真空度的概念

在真空技术中，把低于一个大气压的气体状态，统称为真空。与正常的大气相比，这是一种较稀薄的气体状态。

真空中残存气体的稀薄程度就是真空程度的高低，即真空度。

热压烧结炉